-
1 plasma etching
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизованного газа)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > plasma etching
-
2 gas plasma etching
Engineering: GPEУниверсальный русско-английский словарь > gas plasma etching
-
3 gas plasma etching
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > gas plasma etching
-
4 gaseous plasma etching
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > gaseous plasma etching
-
5 плазменное травление
Русско-английский технический словарь > плазменное травление
-
6 плазменное травление
-
7 trawienie plazmowe
• plasma etchingSłownik polsko-angielski dla inżynierów > trawienie plazmowe
-
8 плазменное травление
Русско-английский словарь по микроэлектронике > плазменное травление
-
9 плазменное травление
Русско-английский политехнический словарь > плазменное травление
-
10 плазменное травление
плазменное травление
Сухое травление, при котором полупроводниковая подложка погружается в плазму, содержащую травящие реагенты; химическая реакция травления происходит с одинаковой скоростью в любом направлении, то есть травление изотропно; может быть очень избирательным; используется тогда, когда не требуется направленность (анизотропия) травления, например, при удалении резиста.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > плазменное травление
-
11 камера для плазменного травления
Русско-английский словарь по микроэлектронике > камера для плазменного травления
-
12 установка плазменного травления
Русско-английский словарь по микроэлектронике > установка плазменного травления
-
13 плазменное травление
1) Engineering: plasma etch process, plasma etching, plasma etching process, plasma reactor etching2) Polygraphy: plasma ashingУниверсальный русско-английский словарь > плазменное травление
-
14 планарный реактор для плазменного травления
1) Engineering: planar plasma etching reactor, planar plasma reactor, planar plasma-etching reactor2) Microelectronics: pancake reactor, planar-plasma etching reactor, planar-plasma reactorУниверсальный русско-английский словарь > планарный реактор для плазменного травления
-
15 травление
bite полигр., etch, etching, killing, pickling, etching process, staining* * *травле́ние с.1. (химическая обработка для выяснения структуры, получения рисунка на стекле и т. п.) etchingано́дное травле́ние — anodic picklingбе́лое травле́ние — white picklingтравле́ние в га́зовой среде́ — gas picklingтравле́ние в раство́рах — wet etchingглубо́кое травле́ние — deep etching, deep-etch processио́нное травле́ние — ionic etchingкато́дное травле́ние — cathodic picklingкисло́тное травле́ние — acid picklingкорректу́рное травле́ние полигр. — re-etching, re-bitingкру́глое травле́ние полигр. — round [finishing] etchingмагни́тное травле́ние — magnetic etchingмногоступе́нчатое травле́ние — composite etchingтравле́ние набры́згиванием — spray etchingоборо́тное травле́ние — reverse etchingоднопроце́ссное травле́ние — powderless etchingтравле́ние паке́тами — batch picklingпла́зменное травле́ние полупр. — plasma etchingсве́тлое травле́ние — white picklingтравле́ние с испо́льзованием фоторези́ста — photoresist etchingстру́йное травле́ние — jet etchingсухо́е травле́ние — dry etchingтеплово́е травле́ние — thermal etchingтеплово́е травле́ние излуче́нием ла́зера — laser-induced thermal etchingтравле́ние то́чек — dot-etchingхоло́дное травле́ние — cold etchingчерново́е травле́ние — black picklingчи́стое травле́ние — finishing [fine] etchingэлектролити́ческое травле́ние — electrolytic etchingтравле́ние электро́нным лучо́м — electron beam etchingэлектрохими́ческое травле́ние — electrochemical picklingэмульсио́нное травле́ние — powderless etching* * * -
16 травление
-
17 реактор для плазменного травления
1) Engineering: plasma etching reactor, plasma-etching reactor2) Microelectronics: plasma reactorУниверсальный русско-английский словарь > реактор для плазменного травления
-
18 плазменное травление
dry plasma etching, plasma etching, plasma ashingРусско-английский словарь по электронике > плазменное травление
-
19 плазменное травление
dry plasma etching, plasma etching, plasma ashingРусско-английский словарь по радиоэлектронике > плазменное травление
-
20 реактивное ионное травление
1) Engineering: reactive ion milling2) Electronics: ion-assisted plasma etching3) Microelectronics: reactive ion etching, reactive-ion etchingУниверсальный русско-английский словарь > реактивное ионное травление
См. также в других словарях:
Plasma etching — is a form of plasma processing used to fabricate integrated circuits. It involves a high speed stream of glow discharge (plasma) of an appropriate gas mixture being shot (in pulses) at a sample. The plasma source, known as etch species, can be… … Wikipedia
plasma etching — plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etching vok. Plasmaätzung, f rus. плазменное травление, n pranc. corrosion par plasma, f … Radioelektronikos terminų žodynas
plasma-etching reactor — plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etcher; plasma etching reactor vok. Plasmaätzer, m; Plasmaätzreaktor, m rus. реактор для плазменного травления, m; установка для плазменного травления, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
parallel-plate plasma-etching reactor — plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными… … Radioelektronikos terminų žodynas
planar plasma-etching reactor — planarusis plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. planar plasma etcher; planar plasma etching reactor vok. Planarplasmaätzer, m rus. планарный реактор для плазменного травления, m pranc. réacteur planaire pour… … Radioelektronikos terminų žodynas
microwave plasma etching — mikrobanginis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microwave plasma etching vok. Mikrowellenätzung, f rus. микроволновое плазменное травление, n pranc. décapage microhertzien par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
ion-assisted plasma etching — joninis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion assisted plasma etching vok. Plasmaionenätzen, n rus. плазменное ионное травление, n pranc. décapage ionique par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
barrel-reactor plasma etching — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… … Radioelektronikos terminų žodynas
radial-flow plasma-etching reactor — spinduliškas dujasrautis plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radial flow plasma etching reactor vok. Plasmaätzer mit radialem Strom, m rus. реактор плазменного травления с радиальным потоком, m pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
radical plasma etching — radikalinis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radical plasma etching vok. radikales Plasmaätzen, n rus. радикальное плазмохимическое травление, n pranc. décapage radicalaire par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
Etching (microfabrication) — Etching tanks used to perform Piranha, Hydrofluoric acid or RCA clean on 4 inch wafer batches at LAAS technological facility in Toulouse, France Etching is used in microfabrication to chemically remove layers from the surface of a wafer during… … Wikipedia